Вступ до Plasma Cleaner

Плазма, як і тверді тіла, рідини та гази, є станом речовини, також відомим як четвертий стан речовини. Плазма утворюється, коли до газу прикладається достатня кількість енергії для його іонізації. До «активних» компонентів плазми належать іони, електрони, реактивні радикали, збуджені нукліди (метастабільні стани) і фотони. Системи плазмової обробки поверхні використовують властивості цих активних компонентів для обробки поверхонь зразків, досягаючи таких цілей, як очищення, модифікація та озолення фоторезисту.